电子半导体

采用全球首创LightDomeTM光穹技术TOC降解系统

随着芯片制程工艺的发展,对超纯水中有机物浓度要求更加苛刻,总有机碳浓度(TOC)要求已至 ppt 级,在超纯水制备工艺中 TOC UV 已成为工艺流程中的核心环节,影响最终出水 TOC 浓度。

TOC 降解主要依靠短波长紫外线激发水分子和溶解氧生成强氧化性的羟基自由基(OH·)和臭氧(O3),臭氧在紫外线照射下快速分解形成高浓度羟基自由基,将一部分有机物氧化成 CO2,一部分离子化后联合 EDI 去除,短波长紫外线(200nm 以下)的输出强度直接决定系统对水中总有机碳(TOC)去除效率。

ZeroTOCTM TOC 降解系统采用全球首创 LightDomeTM光穹技术,充分发挥172-400nm之间不同波长紫外线光子能量和穿透效率特点,结合 CFD 模型动态模拟水在反应器内运动轨迹和运动速率,在反应器不同位置根据水与灯管的接触时 间配置不同强度和波长紫外线,以达到 TOC 降解所需最佳波长配比和紫外线照射剂量,实现 TOC 最大降解效率。在确保 TOC 分解效率和最经济能耗的前提下,系统所用灯管、套管和镇流器数量最少,既确保系统维护简单也降低维护成本,实现 TOC 降解效率、运行能耗和维护简单的完美平衡。

ZeroTOCTM 系统结合最新灯管电极技术、电子整流器技术和光学石英领域最新进展,其短波长紫外线输出比传统灯管高出 30%,大大提高系统 TOC 降解能力并降低系统能耗。

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BioEasyTM纯水/回用水消毒

采用最新中压全波段紫外线灯管及无级功率调节技术,专为小型自来水厂,工业原水预处理及中水回用中微生物控制研发设计;可根据不同杀菌目标设定紫外线系统运行剂量(mJ/cm2),在水质、水量波动时系统自动调节运行功率,在满足设定照射剂量要求时,实现系统最经济功率运行。

腔体采用 316L 不锈钢,全系标配在线自动清洗系统确保系统长时间高效运行。

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